请问MFM中，Lift Mode、Liner Mode、Interleave Mode有何差别？是否会导致不同的结果。谢谢！

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Hao Sun replied on Tue, Mar 3 2015 9:20 PM

Verified by Hao Sun

MFM应该使用Lift Mode。这三种模式都是Interleave模式，也就是探针交替扫描主扫描线和Interlever扫描线，以下是不同之处：Lift Mode下，Interleave扫描线上对样品形貌的反馈是关闭的，可以使用Lift Scan Height来定义探针相对于主扫描线的各个相应位置抬起的高度，也就是说这种模式下探针抬起后与样品的表面的垂直距离保持在Lift Scan Height。Linear Mode不太常用，它先计算出主扫描线下样品的平均高度，然后在平均高度的基础上抬高Lift Scan Height，它在Interleave扫描线上对样品形貌的反馈也是关闭的，这种模式如果样品高低起伏较大，有可能会撞针。Interleave Mode则是在Interleave扫描线上对样品形貌的反馈仍然打开，因此这种模式下探针始终跟踪样品表面而不会抬起，Lift Scan Height不起作用。