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孙博士,请问roughness 分析时,SSK、SKu、S10z[nm]各是什么含义?它们可以表征image的信噪比吗?
Ssk称为偏度(Skewness),它描述了数据分布偏离对称的程度。当分布左右对称时,偏度为0。当偏度大于0时,该分布为右偏,即表面上有较多高于基线平面的高峰数据。当偏度系数0时,该分布左偏,即表面有较多低于基线平面的低谷数据。其定义为图片上每一个像素点的高度数据的三次方加和,再除以像素点的个数,再除以均方根粗糙度的三次方。该值的绝对值越大,说明数据偏离中心的程度也就越大。
Sku称为峰度(Kurtosis),它是用来反映分布曲线顶端尖峭或扁平程度的指标。当为正态分布的时候,峰度为3(有的地方会减掉这个3让它等于0)。当峰度大于0时,数据的分布比较平,峰度小于0时,数的分布比较尖。其定义为图片上每一个像素点的高度数据的四次方加和,再除以像素点的个数,再除以均方根粗糙度的四次方。
我们离线软件中的粗糙度参数是以Skewness、Kurtosis表示Ssk和Sku,并没有S10z,请问您是在哪个界面下看到这个参数,这样可以找到相应的名称解释。
我们用DI5100测试roughness。
我们的“Integral Gain设定为0.5。这个会对SSK有很大影响吗?
对于一个确定的表面的粗糙度,唯一应该关心的是如何将其Roughness测量准确。探针样品之间的作用力过大会导致探针变钝从而引起粗糙度下降;而Gain设置过低或过高会导致表面追踪不好或系统震荡,从而使得到的图像中存在假象。因此应该仔细调整探针和样品间的相互作用,即在tapping模式下仔细调整Amplitude Setpoint来使得成像的力最小并且仔细调节Gain使得Amplitude Error最小。由于您的仪器比较老,我在以上软件中使用的数值不适用于您的机器,但调节的方法都是一样的。请遵循调节方法即可。
那是否可以认为,我们不需要将Ssk和Sku作为衡量标准?
是的,不需要以此为标准。要评估准确的粗糙度,请使用较尖锐的探针控制好探针样品间的作用力,调节Gain到振幅误差最小,然后去看得到的图像的Rq或者Ra。