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我用的是ICON，想在PFQNM模式下扫图。被测样品的模量主要分布在20GPa，在个别小区域（50nm）模量在8GPa，或者30GPa。根据说明书和文献，现在初步现则探针TAP525A，TAP300A和OTESPA，按照说明书TAP525A比较合适，但是TAP525A是不是太硬，在小区域不那么灵敏，会不会测试不精确，所以有文献用OTESPA，OTESPA在做PFQNM时和TAP300A有什么区别，各有什么特点？谢谢！
只要能够保证在测模量的过程中探针能使样品有至少2-5nm的形变量，才能满足DMT模型。为了防止Deflection的误差引起的Indentation的误差，则需要样品的形变量至少是Deflection的3倍以上，在满足以上条件的情况下，再选择能满足条件的最软的探针以保证灵敏度。无论使用哪种探针，都必须以以上几点为标准来进行选择。OTESPA探针比TAP300A更尖一些，且探针前倾形状略特殊。如果在TAP300A和OTESPA中选择请选TAP300A。