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孙工你好，
我们公司使用dimension edge， tapping mode 分析样品表面形貌和粗糙度RMS，样品表面很平整。5um X 5um 的RMS 一般 1-2 A，有时候我需要测量 0.5um X 0.5um 区域观察成核现象。感觉在这种样品上扫描，系统的噪音很大。请问调节哪些参数可以降低噪音，提高分辨率？
另外我发现用 phase image 比较容易观察成核，但很多时候 phase image 和 height image 不能同时达到很好的分辨率。而且经常出现扫描到一半的时候，image 质量突然变差。 请问有什么方法解决吗？
谢谢。
首先要保证环境噪声很低，气浮台可以正常工作，并罩上罩子。如果样品比较大，可以直接放在样品盘上，比较小的样品，尽量用铁片粘住，用磁铁去吸，而不是用真空去吸。推荐的探针OTESPA或者OLTESPA，后者更易控制作用力。像素点至少256*256，推荐512*512.。控制好setpoint，不要使用接近Target 一半左右的setpoint，尽量使用比较小的力去成像。
谢谢。环境噪声已经尽量降低了。2英寸的wafer，所以直接放在样品台上的。
在tuning 的界面，“target tapping signal”，这个数值怎么确定？你是说 setpoint 要比这个 数值的一半小，是吗？
Target一般设定在5-7v, setpoint不要设置为接近Target的一半，那样力会比较大，容易造成探针磨损而导致无法高分辨成像。