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开环vs.闭环

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Zhuoyang posted on Tue, Mar 29 2011 9:19 PM

谁能解答一下开环和闭环的区别在哪?

我搞不清楚开环的工作原理,不是也要检测探针高度和振幅信号,然后改变扫描管高度吗?是怎么个开环法?

非常感谢!

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Answered (Verified) Hao Sun replied on Wed, Mar 30 2011 12:42 PM
Verified by Hao Sun

因为扫描管采用压电陶瓷材料来实现纳米级别的微小位移,而压电陶瓷本身具有蠕变(Creep)的性质,就是说当加在压电陶瓷上的电压突然改变时,压电陶瓷并不能快速定位到新的位置,比如当突然改变扫描范围或者扫描的中心点时,蠕变就会显示出来。为了避免这种效应对成像的影响,实现精确定位,闭环扫描管在开环扫描管基础上增加了一个闭环回路,通过棱镜、电阻或者电容(也就是增加了一个可以探测精确位置的传感器),来实现成像时的精确定位。所谓的“闭环”就是指增加了一个闭环回路,扫描管的工作原理并没有改变。

您可以实际体会一下开环和闭环的区别,即在闭环打开的情况下扫描一幅图,扫图的过程中改变XY offset,这时扫描管可以精确地移动到您指定的新的扫描位置,图上不会出现扭曲的形貌像;然后关闭闭环回路(对于您的Innova系统,使用大扫描管时,菜单中有一项Closed loop),把XY closed loop都不选择On,即可关闭。再扫描一幅图并变换扫描位置,在开环情况下,您就会看到图像的中心不一定是您指定的扫描中心,并且在移动位置后有一部分图像扭曲了。

由于增加了闭环回路,虽然定位会准确了,但是也引入了额外的噪声,使用开环还是闭环取决于您的具体应用。

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Answered (Verified) Hao Sun replied on Wed, Mar 30 2011 12:42 PM
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因为扫描管采用压电陶瓷材料来实现纳米级别的微小位移,而压电陶瓷本身具有蠕变(Creep)的性质,就是说当加在压电陶瓷上的电压突然改变时,压电陶瓷并不能快速定位到新的位置,比如当突然改变扫描范围或者扫描的中心点时,蠕变就会显示出来。为了避免这种效应对成像的影响,实现精确定位,闭环扫描管在开环扫描管基础上增加了一个闭环回路,通过棱镜、电阻或者电容(也就是增加了一个可以探测精确位置的传感器),来实现成像时的精确定位。所谓的“闭环”就是指增加了一个闭环回路,扫描管的工作原理并没有改变。

您可以实际体会一下开环和闭环的区别,即在闭环打开的情况下扫描一幅图,扫图的过程中改变XY offset,这时扫描管可以精确地移动到您指定的新的扫描位置,图上不会出现扭曲的形貌像;然后关闭闭环回路(对于您的Innova系统,使用大扫描管时,菜单中有一项Closed loop),把XY closed loop都不选择On,即可关闭。再扫描一幅图并变换扫描位置,在开环情况下,您就会看到图像的中心不一定是您指定的扫描中心,并且在移动位置后有一部分图像扭曲了。

由于增加了闭环回路,虽然定位会准确了,但是也引入了额外的噪声,使用开环还是闭环取决于您的具体应用。

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受教了,我已经发现在zoom in前后图像中心不一致,还不知道是怎么回事,现在明白了

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