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请问这是water film吗?

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stsolong posted on Thu, Jul 12 2012 9:47 AM

 我用conductive AFM扫描时,用contace mode 成像, trace和retrace line 形状相似,但是中间有大约6 nm的间隔。不知道这是不是water film?

原先laser signal 设置在-0.3V,然后deflection setpoint 设置在-0.2 engage the tip。 发现6nm 的gap之后,要把deflection setpoint降低到-0.5  左右才能使tip脱离表面。

我扫描的物品是参杂硅半导体上面的薄膜,可能会导电,所以现在用CAFM证明。但是不知道这层water film对我的导电性试验结果有没有重大的影响? 求高手赐教!

谢谢!

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有水膜的影响,但trace和retrace的差别还有一个来源是接触电阻不同,即探针的运动方向不同,探针与表面的接触状态不同。最好您能把原始的图发过来看一下。

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你好孙工,谢谢你的回复。这是原图,还没有加偏压的状态。

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Answered (Not Verified) Hao Sun replied on Thu, Jul 26 2012 12:35 AM
Suggested by Hao Sun

探针并没有很好地追踪到样品表面,增加一下gain值,或者增加一点deflection setpoint试试看。这个在contact mode比较常见,不是水膜。

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谢谢孙工回复。以前试过增加deflection setpoint,没有改善。这情况有时候有,然后这一天测的样品都这样。下次如果再遇到这种情况,试着加gain值。

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