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孙工,我们的仪器是Dimension Edge with Scanasyst,我想知道:在Dimension Edge上Scanasyst与tapping扫出的形貌图差在哪里?谢谢!
ScanAsyst可以扫描更软更粘的样品,这是tapping mode所不能做的。另外对于窄沟槽样品,tapping mode也测不准,但是ScanAsyst可以测准。对于表面上有静电荷的样品,tapping mode往往测得的高度比实际高度要高,而ScanAsyst可以得到比较准确的结果。
嗯 谢谢孙工!