AFM探针指标介绍

Bo Zhang posted on Wed, Feb 23 2011 7:25 AM

探针对AFM成像质量的影响很大，多数情况下，AFM图质量差就是因为探针钝了，或者多针尖引起的。这里简单的介绍一下常用的AFM的探针的参数和型号。

1，探针各部分称呼，

      一根AFM探针包含三个部分。一，基片（Substrate）；二，微悬臂梁（Cantilever）；三，针尖（tip）；很多情况下，说针尖也是指整个探针。

2，材质，

          轻敲探针一般是单晶硅，型号如RTESP；

         接触模式探针的材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；

         功能探针，如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。

3，指标

       探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。

      基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。

     悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的。他的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。

   针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，前角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁最末端的水平距离。

4，常用探针型号介绍

     轻敲模式，RTESP，TESP，FESP

     接触模式，SNL，NP，

     磁力显微镜，MESP

     静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，MESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。

5，探针的保存

   每次从盒子中取放探针时，尽量快的把探针盒合上，以减少外部环境污染。

   尽量将不用的探针保存在干燥器中。

更多探针型号介绍，请见，www.brukerprobes.com；